特氣柜的重要組成部分

特氣柜是指主要用于供應特種氣體的柜子,氣體一般有易燃,易爆,劇毒等特性。主要用于半導體和LED的新興行業,特氣柜由下面幾個部件組成:

1. 氣動閥氣源:一般以GN2來進行控制,不建議使用CDA(clean dry air),因GN2的供應系統比較穩定,不會因停電或運轉設備故障而中斷,此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關。

2. 手動控制閥:主要用于第二道防護作為第二次確認用或檢修,一般于供應氣體的出口端。

3. 逆止閥(單向閥):防止特氣倒灌到清潔用的PN2(高純氮)系統和抽氣用的GN2(普氮)系統。

4. 調壓閥:用于調整供應系統的供應壓力。

5. 壓力傳感器:是防護系統中非常重要的零件,透過它我們可以判斷管路是否泄漏,相關閥件是否正常開關,同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。

6. 真空產生器:利用GN2快速流動產生吸力,將管路中的氣體抽出,以到達抽氣的目的。

7. 氣體過濾器:一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器,在出端會裝比較細的過濾器,有效過濾氣體中的顆粒,過濾器較不易吹掃,所以一般不建議裝在常吹掃的管路中。

8. 過流量偵測器:對管路異常流量進行偵測,若是超過設定值,即判斷管路上可能大量泄漏,進而關閉供應系統停止供氣。

9.限流孔:是一種簡易又有效的過流量控制裝置,用以限制大量氣體流過,一般適用于出口處,其主要功用是避免大量的特殊氣體排出,區域性的廢氣處理機無法處理的情況發生。

其中:對于特氣柜里重要的儀器儀表組成部分,壓力表和壓力傳感器質量的好壞,對設備正常運行、數據采集起到了決定性的作用。長野計器(NKS)生產的壓力表壓力傳感器GW系列和ZT系列就是為半導體特氣柜量身定做的產品,長野計器的產品具有響應速度快,信號采集輸出穩定,安全可靠。產品在市場中名列前茅,收到了客戶的一致認可。

部分轉載自百度文庫

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